台式/闪光闪光灯

容量:18- 23ltrs。

腔室:SS316 L.周期类型的类型:B型过程,N型过程和S型过程

空气过滤器 :提供空气过滤器,用于在室内进入腔室之前过滤大气空气。过滤器分离效率高于小于0.3μm的粒度高于99.998%。

程式:

  • 134.0.C包裹。
  • 121.0.C包裹。
  • 134.0.C闪存/快速打开仪器周期。
  • 134.0.c纺织。
  • 134.0.C朊病毒。
  • 测试程序:Bowie Dick&泄漏测试

蒸汽发生器:喷涂型以确保均匀的压力和温度。

储水箱:水库,储存能力高达5升。用水循环

控制板:数字LCD屏幕可以显示温度,压力,时间,运行状态,故障警报和其他内置打印机内置的其他信息

错误控制:报警范围包括温度和压力传感器故障,相位超时,门未正确关闭,电源故障连续自检所有安全装置,低水位等。